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- Titel:
Characterisation of the Intrinsic Stress in Micromachined Parylene Membranes
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Zöpfl, Teresa; Klare, Stefan; Wachutka, Gerhard; Schrag, Gabriele
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of SPIE: Smart Sensors, Actuators, and MEMS IV
- Band / Teilband / Volume:
- 7362
- Jahr:
- 2009
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