Login
- Titel:
Bayesian Machine Learning for Efficient Minimization of Defects in ALD Passivation Layers
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Dogan, Gül; Demir, Sinan O.; Gutzler, Rico; Gruhn, Herbert; Dayan, Cem B.; Sanli, Umut T.; Silber, Christian; Culha, Utku; Sitti, Metin; Schütz, Gisela; Grévent, Corinne; Keskinbora, Kahraman
- Zeitschriftentitel:
- ACS Applied Materials & Interfaces
- Jahr:
- 2021
- Band / Volume:
- 13
- Heft / Issue:
- 45
- Seitenangaben Beitrag:
- 54503-54515
- Volltext / DOI:
- doi:10.1021/acsami.1c14586
- WWW:
- https://doi.org/10.1021/acsami.1c14586
- Hinweise:
- PMID: 34735111
BibTeX
Vorkommen:
- mediaTUM GesamtbestandHochschulbibliographie2021Integrated Research CentersMunich Institute of Robotics and Machine Intelligence (MIRMI)
- mediaTUM GesamtbestandHochschulbibliographie2021FakultätenElektrotechnik und InformationstechnikRobotik und Systemintelligenz (Prof. Haddadin, Joint Appointment mit Fakultät für Informatik)