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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Voss, Andrej; Seyfert, Lars; Schwesinger, Norbert; Hemmert, Werner
- Titel:
- Stroboscopic video microscopy with sub-nanometer accuracy for characterizing and monitoring MEMS
- Herausgeber:
- Shull, Peter J.; Yu, Tzuyang; Gyekenyesi, Andrew L.; Wu, H. Felix
- Kongress- / Buchtitel:
- Nondestructive Characterization and Monitoring of Advanced Materials, Aerospace, Civil Infrastructure, and Transportation XVI
- Verlag / Institution:
- SPIE
- Publikationsdatum:
- 18.04.2022
- Jahr:
- 2022
- Volltext / DOI:
- doi:10.1117/12.2612552
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