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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Voss A., Seyfert L., Hemmert W.
- Titel:
- Stroboscopic Video Microscopy for In-Plane Motion Measurements Up to 2 MHz with Picometer Resolution
- Kongress- / Buchtitel:
- 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
- Verlag / Institution:
- IEEE
- Publikationsdatum:
- 25.01.2021
- Jahr:
- 2021
- Volltext / DOI:
- doi:10.1109/mems51782.2021.9375327
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