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Titel:

Stroboscopic Video Microscopy for In-Plane Motion Measurements Up to 2 MHz with Picometer Resolution

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Voss A., Seyfert L., Hemmert W.
Kongress- / Buchtitel:
2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Verlag / Institution:
IEEE
Publikationsdatum:
25.01.2021
Jahr:
2021
Volltext / DOI:
doi:10.1109/mems51782.2021.9375327
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