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- Titel:
Automated, deep reactive ion etching free fiber coupling to nanophotonic devices
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Flassig, Fabian; Flaschmann, Rasmus; Kainz, Thomas; Ernst, Sven; Strohauer, Stefan; Schmid, Christian; Zugliani, Lucio; Müller, Kai; Finley, Jonathan J.
- Herausgeber:
- Razeghi, Manijeh; Khodaparast, Giti A.; Vitiello, Miriam S.
- Kongress- / Buchtitel:
- Quantum Sensing and Nano Electronics and Photonics XVIII
- Verlag / Institution:
- SPIE
- Publikationsdatum:
- 05.03.2022
- Jahr:
- 2022
- Volltext / DOI:
- doi:10.1117/12.2611160
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