- Document type:
- Zeitschriftenaufsatz
- Author(s):
- Burcea, Florin; Herrmann, Andreas; Graeb, Helmut
- Title:
- Robustheitsoptimierung von MEMS-basierten Sensorschaltungen
- Journal title:
- VDE/VDI-GMM MikroSystemTechnik Kongress
- Year:
- 2019
- Month:
- October
- BibTeX