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Titel:

Stroboscopic video microscopy with sub-nanometer accuracy for characterizing and monitoring MEMS

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Voss, Andrej; Seyfert, Lars; Schwesinger, Norbert; Hemmert, Werner
Herausgeber:
Shull, Peter J.; Yu, Tzuyang; Gyekenyesi, Andrew L.; Wu, H. Felix
Kongress- / Buchtitel:
Nondestructive Characterization and Monitoring of Advanced Materials, Aerospace, Civil Infrastructure, and Transportation XVI
Verlag / Institution:
SPIE
Publikationsdatum:
18.04.2022
Jahr:
2022
Volltext / DOI:
doi:10.1117/12.2612552
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