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Titel:

C3.2 - Piezoelektrische MEMS-Mikrofone mit Regelung durch Kraftrückkopplung

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Friebe, T.; Schrag, G.; Bosetti, G.; Bretthauer, C.
Seitenangaben Beitrag:
236-240
Abstract:
Wir präsentieren das Design und eine erste experimentelle Validierung eines durch Kraftrückkoppelung geregelten piezoelektrischen MEMS-Mikrofons mit dem Ziel, die Sensorlinearität zu erhöhen, eine flache Frequenzantwort zu ermöglichen und Systemresonanzen zu dämpfen. Das MEMS-Konzept beruht auf einer allseitig eingespannten, gewellten Aluminiumnitridmembran. Das Design und die Auswertung der wichtigsten Sensorparameter wurden mithilfe von gekoppelten Finite-Elemente- Simulationen durchgeführt un...     »
Stichworte:
MEMS; Mikrofon; Kraftrückkoppelung; Frequenz; Frequenzantwort; Aluminiumnitridmembran; Aluminium; Design; Sensor; Vibrometer; Finite; Messungen; MEMS-Mikrofon; Microphone; Mikrophon; Friebe; Schrag; Bosetti; Bretthauer
Dewey-Dezimalklassifikation:
620 Ingenieurwissenschaften
Kongress- / Buchtitel:
Vorträge
Kongress / Zusatzinformationen:
22. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2024
Datum der Konferenz:
11.-12.06.2024
Verlag / Institution:
AMA Service GmbH, Von-Münchhausen-Str. 49, 31515 Wunstorf
Publikationsdatum:
01.01.2024
Jahr:
2024
Quartal:
1. Quartal
Jahr / Monat:
2024-01
Seiten:
236-240
Print-ISBN:
978-3-910600-01-0
Sprache:
de
Volltext / DOI:
doi:10.5162/sensoren2024/c3.2
WWW:
https://www.ama-science.org/proceedings/details/4945
TUM Einrichtung:
Electrical Engineering; Professorship of Microsensors and Actuators
Eingabe:
08.10.2024
Letzte Änderung:
08.10.2024
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