C3.2 - Piezoelektrische MEMS-Mikrofone mit Regelung durch Kraftrückkopplung

Wir präsentieren das Design und eine erste experimentelle Validierung eines durch Kraftrückkoppelung geregelten piezoelektrischen MEMS-Mikrofons mit dem Ziel, die Sensorlinearität zu erhöhen, eine flache Frequenzantwort zu ermöglichen und Systemresonanzen zu dämpfen. Das MEMS-Konzept beruht auf einer allseitig eingespannten, gewellten Aluminiumnitridmembran. Das Design und die Auswertung der wichtigsten Sensorparameter wurden mithilfe von gekoppelten Finite-Elemente- Simulationen durchgeführt und die Messungen erster Prototypen mit Hilfe eines Laser-Doppler- Vibrometers bestätigen, dass die kraftrückgekoppelte Regelung des MEMS-Mikrofons möglich ist.     «

Wir präsentieren das Design und eine erste experimentelle Validierung eines durch Kraftrückkoppelung geregelten piezoelektrischen MEMS-Mikrofons mit dem Ziel, die Sensorlinearität zu erhöhen, eine flache Frequenzantwort zu ermöglichen und Systemresonanzen zu dämpfen. Das MEMS-Konzept beruht auf einer allseitig eingespannten, gewellten Aluminiumnitridmembran. Das Design und die Auswertung der wichtigsten Sensorparameter wurden mithilfe von gekoppelten Finite-Elemente- Simulationen durchgeführt un...     »