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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation 
Autor(en):
Niessner, M. ; Iannacci, J. ; Schrag, G. 
Titel:
Mechanical Contact in System-level Models of Electrostatically Actuated RF-MEMS Switches: Experimental Analysis and Modeling 
Seitenangaben Beitrag:
80660Y-1-9 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of SPIE: Smart Sensors, Actuators and MEMS V 
Kongress / Zusatzinformationen:
SPIE Microtechnologies 2011, April 18-20, Prague, Czech Republic 
Jahr:
2011 
Reviewed:
ja 
Sprache:
en 
Semester:
SS 02 
Format:
Text