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Acoustic High-Frequency Effects Inside the Package of Capacitive Silicon Microphones and Their Impact on the Device Performance
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Proceedings of SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII and Cyber Physical Systems
2015

Manz, J.; Wachutka, G.; Schrag, G.
Fluidic Damping in Micro- and Nano-Scale Mechanical Resonators in the Molecular Flow Regime: A Momentum Transfer Based Analytical Approach
Proceedings of the 18th Int. Conf. on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems
2015

Künzig, T.; Schrag, G.; Dehe, A.; Wachutka, G.
Modeling Distributed Electrostatic Effects in Silicon Microphones and Their Impact on the Performance
Proceedings of SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII and Cyber Physical Systems
SPIE
2015

Erlbacher, T.; Büttner, T.; Bauer, A.J.; Huang, Y.; Wachutka, G.; Frey, L.
Requirements and Design of 4,5 kV 4H-SiC Merged pin/Schottky Diodes for Wind power
Proceedings of the 39th Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits
WOCSDICE
2015

Niessner, M.
Wachutka, G.; Schmitt-Landsiedel, D.
Modellierung und Simulation des elektro-fluid-mechanisch gekoppelten Verhaltens von Mikrobauteilen auf der Systemebene
Shaker Verlag
2015

Gawlina-Schmidl, Y.
Wachutka, G.; Schmitt-Landsiedel, D.
Analyse ionenreduzierter Ausfallmechanismen in hochintegrierten CMOS-Speicherzellen
Shaker Verlag
2015

Künzig, T.; Schrag, G.; Dehe, A.; Wachutka, G.
Performance and Noise Analysis of Capacitive Silicon Microphones Using Tailored System-Level Simulation
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Proceedings of the 18th Int. Conf. on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems
2015

Schrag, G.; Künzig, T.
Maßgeschneiderte Modelle für Mikrosysteme mit Hilfe verallgemeinerter Kirchhoffscher Netze
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Nichtelektrische Netzwerke: Wie die Systemtheorie hilft, die Welt zu verstehen
TUDpress Dresdner Beiträge zur Sensorik
2015

Wieland, R.; Nguyen, K.; Seidelmann, U.; Scholz, M.; Schrag, G.
Wafer edge protection kit for MEMS and TSV Si-Etching
951724-1 bis 951724-8
Proceedings of SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII and Cyber Physical Systems
May 4-6, 2015, Barcelona, Spain
2015

Weiß, Chr.
Wachutka, G. u. Schmitt-Landsiedel, D.
Höhenstrahlungsresistenz von Silizium-Hochleistungsbauelementen
Shaker Verlag
2015
91