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Titel:

Mechanical Contact in System-level Models of Electrostatically Actuated RF-MEMS Switches: Experimental Analysis and Modeling

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation
Autor(en):
Niessner, M. ; Iannacci, J. ; Schrag, G.
Seitenangaben Beitrag:
80660Y-1-9
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of SPIE: Smart Sensors, Actuators and MEMS V
Kongress / Zusatzinformationen:
SPIE Microtechnologies 2011, April 18-20, Prague, Czech Republic
Jahr:
2011
Reviewed:
ja
Sprache:
en
Semester:
SS 02
Format:
Text
 BibTeX