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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Bosetti, Gabriele; Bretthauer, Christian; Bogner, Andreas; Krenzer, Michael; Gierl, Karolina; Heiss, Heinrich; Schrag, Gabriele
Titel:
Design Optimization of a Corrugated Piezoelectric MEMS Microphone applying Genetic Algorithms
Kongress- / Buchtitel:
2024 25th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE)
Verlag / Institution:
IEEE
Publikationsdatum:
07.04.2024
Jahr:
2024
Volltext / DOI:
doi:10.1109/eurosime60745.2024.10491462
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