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- Titel:
Energy-Efficient Semiconductor Manufacturing: Establishing an Ecological Operating Curve
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Hopf, Anna; Ismail, Abdelgafar; Ehm, Hans; Schneider, Daniel; Reinhart, Gunther
- Kongress- / Buchtitel:
- 2022 Winter Simulation Conference (WSC)
- Verlag / Institution:
- IEEE
- Publikationsdatum:
- 11.12.2022
- Jahr:
- 2022
- Volltext / DOI:
- doi:10.1109/wsc57314.2022.10015333
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