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Titel:

A toolbox for easy entry low wavenumber in situ atomic layer deposition transmission FTIR spectroscopy studies

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Bin Afif, Abdulla; Dadlani, Anup L.; Flaten, Andreas; Lid, Markus Joakim; Ofstad, Johannes; Erbe, Andreas; Köllensperger, Peter; Torgersen, Jan
Zeitschriftentitel:
Review of Scientific Instruments
Jahr:
2022
Band / Volume:
93
Heft / Issue:
8
Seitenangaben Beitrag:
085107
Nachgewiesen in:
Scopus; Web of Science
Volltext / DOI:
doi:10.1063/5.0102518
Verlag / Institution:
AIP Publishing
E-ISSN:
0034-67481089-7623
Publikationsdatum:
01.08.2022
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften
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