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Titel:

Modeling high signal-to-noise ratio in a novel silicon MEMS microphone with comb readout

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation
Autor(en):
Manz J.; Dehe A.; Schrag G.
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of SPIE Microtechnologies 2017
Kongress / Zusatzinformationen:
Barcelona, Spain
Datum der Konferenz:
8-10 May 2017
Jahr:
2017
Jahr / Monat:
2917-05
Monat:
Mar
Sprache:
en
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
Eingabe:
23.10.2018
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