Login
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Manz J.; Dehe A.; Schrag G.
- Titel:
- Modeling high signal-to-noise ratio in a novel silicon MEMS microphone with comb readout
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of SPIE Microtechnologies 2017
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Barcelona, Spain
- Datum der Konferenz:
- 8-10 May 2017
- Jahr:
- 2017
- Jahr / Monat:
- 2917-05
- Monat:
- Mar
- Sprache:
- en
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
- Eingabe:
- 23.10.2018
BibTeX