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Titel:

Mixed-Level Modeling of Squeeze Film Damping in MEMS: Simulation and Pressure-Dependent Experimental Validation

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation
Autor(en):
Niessner, M. ; Schrag, G.; Iannacci, J. ; Wachutka, G.
Seitenangaben Beitrag:
1693-1696
Kongress- / Buchtitel:
Technical Digest of the 16th Int. Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems -TRANSDUCERS` 2011
Kongress / Zusatzinformationen:
June 5-9, Beijing, China
Jahr:
2011
Reviewed:
ja
Sprache:
en
Erscheinungsform:
CD-ROM / DVD
Semester:
SS 02
Format:
Text
 BibTeX