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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Künzig, T.; Iannacci, J.; Schrag, G.; Wachutka, G.
- Titel:
- Study of an active thermal recovery mechanism for an electrostatically actuated RF-MEMS switch
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of the 13th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems
- Kongress / Zusatzinformationen:
- EuroSime 2012, April, 16-18, Cascais, Portugal
- Verlag / Institution:
- IEEE
- Jahr:
- 2012
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- en
- Erscheinungsform:
- CD-ROM / DVD
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