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- Title:
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
- Document type:
- Buch
- Author(s):
- Reutter, T.
- Editor:
- Wachutka, G. u. Schmitt-Landsiedel, D.
- Volume:
- Vol. 47
- Bookseries title:
- Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
- Publisher:
- Shaker Verlag
- Publisher address:
- Aachen, Germany
- Pages:
- 132
- Year:
- 2015
- Print-ISBN:
- 978-3-8440-3490-5
- Language:
- de
- Format:
- Text
BibTeX