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- Titel:
Modeling of an out-of-plane capacitive MEMS transducer with dynamically coupled electrodes
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Bosetti, G.; Manz, J.; Schrag, G.; Dehe, A.
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of DTIP 2017, the Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP)
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Bordeaux, France
- Datum der Konferenz:
- 29. May – 1. June
- Jahr:
- 2017
- Jahr / Monat:
- 2017-05
- Monat:
- May
- Sprache:
- en
- Eingabe:
- 01.10.2018
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