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Titel:

EFFECT OF SUBSTRATE BIAS ON THE PROPERTIES OF MICROCRYSTALLINE SILICON FILMS DEPOSITED IN A GLOW-DISCHARGE

Autor(en):
SAROTT, FA; IQBAL, Z; VEPREK, S
Zeitschriftentitel:
SOLID STATE COMMUNICATIONS
Jahr:
1982
Band / Volume:
42
Heft / Issue:
6
Seitenangaben Beitrag:
465-468
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