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- Titel:
EFFECT OF SUBSTRATE BIAS ON THE PROPERTIES OF MICROCRYSTALLINE SILICON FILMS DEPOSITED IN A GLOW-DISCHARGE
- Autor(en):
- SAROTT, FA; IQBAL, Z; VEPREK, S
- Zeitschriftentitel:
- SOLID STATE COMMUNICATIONS
- Jahr:
- 1982
- Band / Volume:
- 42
- Heft / Issue:
- 6
- Seitenangaben Beitrag:
- 465-468
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