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Institut für Chemie Anorganischer Materialien (Prof. Veprek)
1983
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Autor(en):
GIMZEWSKI, JK; VEPREK, S
Titel:
DETERMINATION OF THE ENERGIES OF IMPURITY IONS IN A LOW-PRESSURE PLASMA USING PLASMA CHEMICAL ETCHING
Zeitschriftentitel:
HELVETICA PHYSICA ACTA
Jahr:
1983
Band / Volume:
56
Heft / Issue:
4
Seitenangaben Beitrag:
959-960
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Vorkommen:
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1983