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- Titel:
DETERMINATION OF THE ENERGIES OF IMPURITY IONS IN A LOW-PRESSURE PLASMA USING PLASMA CHEMICAL ETCHING
- Autor(en):
- GIMZEWSKI, JK; VEPREK, S
- Zeitschriftentitel:
- HELVETICA PHYSICA ACTA
- Jahr:
- 1983
- Band / Volume:
- 56
- Heft / Issue:
- 4
- Seitenangaben Beitrag:
- 959-960
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