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Titel:

A NOVEL METHOD FOR THE DETERMINATION OF THE ENERGIES OF IMPURITY IONS BOMBARDING A SOLID-SURFACE EXPOSED TO A LOW-PRESSURE PLASMA

Autor(en):
GIMZEWSKI, JK; VEPREK, S
Zeitschriftentitel:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
Jahr:
1984
Band / Volume:
2
Heft / Issue:
1
Seitenangaben Beitrag:
35-39
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