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Titel:

DOMINANT REACTION CHANNELS AND THE MECHANISM OF SILANE DECOMPOSITION IN A H2-SI(S)-SIH4 GLOW-DISCHARGE

Autor(en):
ENSSLEN, K; VEPREK, S
Zeitschriftentitel:
PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING
Jahr:
1987
Band / Volume:
7
Heft / Issue:
2
Seitenangaben Beitrag:
139-153
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