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- Titel:
REACTIVITY OF SOLID SILICON WITH HYDROGEN UNDER CONDITIONS OF A LOW-PRESSURE PLASMA
- Autor(en):
- WEBB, AP; VEPREK, S
- Zeitschriftentitel:
- CHEMICAL PHYSICS LETTERS
- Jahr:
- 1979
- Band / Volume:
- 62
- Heft / Issue:
- 1
- Seitenangaben Beitrag:
- 173-177
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