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- Autor(en):
- VEPREK, S; VEPREKHEIJMAN, MGJ
- Titel:
- POSSIBLE CONTRIBUTION OF SIH2 AND SIH3 IN THE PLASMA-INDUCED DEPOSITION OF AMORPHOUS-SILICON FROM SILANE
- Zeitschriftentitel:
- APPLIED PHYSICS LETTERS
- Jahr:
- 1990
- Band / Volume:
- 56
- Heft / Issue:
- 18
- Seitenangaben Beitrag:
- 1766-1768
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