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- Titel:
Possible role of oxygen impurities in degradation of nc-TiN/a-Si3N4 nanocomposites
- Autor(en):
- VEPREK, S; KARVANKOVA, P; VEPREK-HEIJMAN, MGJ
- Zeitschriftentitel:
- JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
- Jahr:
- 2005
- Band / Volume:
- 23
- Heft / Issue:
- 6
- Seitenangaben Beitrag:
- L17-L21
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