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- Titel:
SURFACE-CHEMISTRY IN ELECTRON-IMPACT INDUCED ETCHING AND PLASMA INDUCED DEPOSITION
- Autor(en):
- VEPREK, S
- Zeitschriftentitel:
- ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY
- Jahr:
- 1986
- Band / Volume:
- 191
- Seitenangaben Beitrag:
- 61-COLL
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