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- Titel:
nm-Co2Si, CoSi and CoSi2 silicide films from the single source precursor CoSiCl3(CO)(4) in the presence of SiH4
- Autor(en):
- PROKOP, J; ZYBILL, CE; VEPREK, S
- Zeitschriftentitel:
- THIN SOLID FILMS
- Jahr:
- 2000
- Band / Volume:
- 359
- Heft / Issue:
- 1
- Seitenangaben Beitrag:
- 39-45
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