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Titel:

nm-Co2Si, CoSi and CoSi2 silicide films from the single source precursor CoSiCl3(CO)(4) in the presence of SiH4

Autor(en):
PROKOP, J; ZYBILL, CE; VEPREK, S
Zeitschriftentitel:
THIN SOLID FILMS
Jahr:
2000
Band / Volume:
359
Heft / Issue:
1
Seitenangaben Beitrag:
39-45
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