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- Titel:
PLASMA-INDUCED DEPOSITION OF THIN-FILMS OF ALUMINUM-OXIDE
- Autor(en):
- PATSCHEIDER, J; VEPREK, S
- Zeitschriftentitel:
- PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING
- Jahr:
- 1992
- Band / Volume:
- 12
- Heft / Issue:
- 2
- Seitenangaben Beitrag:
- 129-145
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