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- Titel:
STRUCTURAL AND SOME OTHER PROPERTIES OF SILICON DEPOSITED IN AN SICL4-H2 RF DISCHARGE
- Autor(en):
- IQBAL, Z; CAPEZZUTO, P; BRAUN, M; al., et
- Zeitschriftentitel:
- THIN SOLID FILMS
- Jahr:
- 1982
- Band / Volume:
- 87
- Heft / Issue:
- 1
- Seitenangaben Beitrag:
- 43-51
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