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- Titel:
MECHANISTIC STUDY OF GLOW-DISCHARGES TYPICAL OF DEPOSITION OF UC AND A-SI
- Autor(en):
- ENSSLEN, K; VEPREK, S
- Zeitschriftentitel:
- HELVETICA PHYSICA ACTA
- Jahr:
- 1984
- Band / Volume:
- 57
- Heft / Issue:
- 6
- Seitenangaben Beitrag:
- 741-741
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