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- Titel:
OBSERVATION OF DUST PARTICLE GROWTH AND FALLOUT IN RF-EXCITED SILANE DISCHARGES
- Autor(en):
- BOHME, W; KOHLER, WE; ROMHELD, M; al., et
- Zeitschriftentitel:
- IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE
- Jahr:
- 1994
- Band / Volume:
- 22
- Heft / Issue:
- 2
- Seitenangaben Beitrag:
- 110-115
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