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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Zöpfl, T. ; Klare, S. ; Wachutka, G. ; Schrag, G.
- Titel:
- "Characterisation of the intrinsic stress in micromachined parylene membranes"
- Seitenangaben Beitrag:
- pp. 73621M-1-11
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of SPIE: Smart Sensors, Actuators and MEMS IV
- Kongress / Zusatzinformationen:
- SPIE 2009, May 4-6 , Dresden, Germany
- Band / Teilband / Volume:
- Vol. 7362
- Jahr:
- 2009
- Sprache:
- en
- Format:
- Text
BibTeX