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Titel:

"Characterisation of the intrinsic stress in micromachined parylene membranes"

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Zöpfl, T. ; Klare, S. ; Wachutka, G. ; Schrag, G.
Seitenangaben Beitrag:
pp. 73621M-1-11
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of SPIE: Smart Sensors, Actuators and MEMS IV
Kongress / Zusatzinformationen:
SPIE 2009, May 4-6 , Dresden, Germany
Band / Teilband / Volume:
Vol. 7362
Jahr:
2009
Sprache:
en
Format:
Text
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