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Title:

Modellierung eines neuartigen Kamm-Mikrofons mit hohem Signal-Rausch-Verhältnis

Document type:
Konferenzbeitrag
Contribution type:
Vortrag / Präsentation
Author(s):
Manz, J.; Schrag, G.; Dehe, A.; Krumbein, U.; Wachutka, G.
Book / Congress title:
Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017
Congress (additional information):
München, Deutschland
Date of congress:
23.-25. Oktober 2017
Year:
2017
Year / month:
2017-10
Month:
Oct
Language:
de
TUM Institution:
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
Ingested:
23.10.2018
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