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Title:

Optimierung industrieller Mikrosysteme mit Hilfe maßgeschneideter Modelle: Systemsimulationen eines Silizium-Mikrophons

Document type:
Konferenzbeitrag
Contribution type:
Vortrag / Präsentation
Author(s):
Schrag, G.; Kuenzig, T.; Wachutka, G.
Pages contribution:
pp. 793-796
Book / Congress title:
Proceedings of MikroSystemTechnik Kongress (VDE) 2017
Congress (additional information):
München, Deutschland, 2017
Date of congress:
23 -25. Oktober2017
Year:
2017
Year / month:
2017-10
Month:
Oct
Pages:
pp. 793-796
Language:
de
TUM Institution:
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
Ingested:
23.10.2018
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