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Titel:

Optimierung industrieller Mikrosysteme mit Hilfe maßgeschneideter Modelle: Systemsimulationen eines Silizium-Mikrophons

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation
Autor(en):
Schrag, G.; Kuenzig, T.; Wachutka, G.
Seitenangaben Beitrag:
pp. 793-796
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of MikroSystemTechnik Kongress (VDE) 2017
Kongress / Zusatzinformationen:
München, Deutschland, 2017
Datum der Konferenz:
23 -25. Oktober2017
Jahr:
2017
Jahr / Monat:
2017-10
Monat:
Oct
Seiten:
pp. 793-796
Sprache:
de
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
Eingabe:
23.10.2018
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