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- Titel:
"Modeling and Manufacturing of an Electrostatic Actuator for Micropumps"
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Leistner, H.; Anheuer, D.; Bosetti, G.; Schrag, G.; Richter, M.
- Kongress- / Buchtitel:
- MikroSystemTechnik Kongress
- Jahr:
- 2021
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