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- Titel:
Quantifying the mechanical reliability of MEMS using experimental and numerical methods
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Ampunant, W.; Ganzhorn, K.; Laumer, B.; Schrag, G.
- Kongress- / Buchtitel:
- Mikrosystemtechnik Kongress
- Datum der Konferenz:
- 28- 30 Oktober
- Jahr:
- 2019
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