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Titel:

Virtual design and optimization studies for industrial silicon microphones applying tailored system-level modeling

Dokumenttyp:
Magazinartikel
Autor(en):
Kuenzig, T.; Dehe, A.; Krumbein, U.; Schrag, G.
Zeitschriftentitel:
Journal of Micromechanics and Microengineering
Jahr:
2018
Band / Volume:
28
Jahr / Monat:
2018-03
Monat:
Mar
Sprache:
en
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
Eingabe:
03.12.2018
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