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- Titel:
Reliable Compact Models for the Investigation of Acoustic High-Frequency Effects in MEMS Transducers
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Bosetti G.; Manz J.; Krumbein U.; Schrag G.
- Kongress- / Buchtitel:
- EUROSENSORS 2018
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Graz, Austria, 2018.
- Datum der Konferenz:
- 9-12 September 2018
- Jahr:
- 2018
- Jahr / Monat:
- 2018-09
- Monat:
- Sep
- Sprache:
- en
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
- Eingabe:
- 20.11.2018
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