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Titel:

Reliable Compact Models for the Investigation of Acoustic High-Frequency Effects in MEMS Transducers

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation
Autor(en):
Bosetti G.; Manz J.; Krumbein U.; Schrag G.
Kongress- / Buchtitel:
EUROSENSORS 2018
Kongress / Zusatzinformationen:
Graz, Austria, 2018.
Datum der Konferenz:
9-12 September 2018
Jahr:
2018
Jahr / Monat:
2018-09
Monat:
Sep
Sprache:
en
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
Eingabe:
20.11.2018
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