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Titel:

Modeling of an out-of-plane capacitive MEMS transducer with dynamically coupled electrodes

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation
Autor(en):
Bosetti, G.; Manz, J.; Schrag, G.; Dehe, A.
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of DTIP 2017, the Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP)
Kongress / Zusatzinformationen:
Bordeaux, France
Datum der Konferenz:
29. May – 1. June
Jahr:
2017
Jahr / Monat:
2017-05
Monat:
May
Sprache:
en
Eingabe:
01.10.2018
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