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Titel:

A Comb-Based Capacitive MEMS Microphone with High Signal-to-Noise Ratio: Modeling and Noise-Level-Analysis

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Anzinger, S.; Manz, J.; Dehe, A.; Schrag, G.
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of the Eurosensors 2017/Multidisciplinary Publishing Institute Proceedings, Vol. 1, 2017
Kongress / Zusatzinformationen:
Paris, France
Band / Teilband / Volume:
Vol. 1
Datum der Konferenz:
3–6 September 2017
Jahr:
2017
Jahr / Monat:
2017-09
Monat:
Sep
Seiten:
pp. 346
Sprache:
en
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Technische Elekrophysik
Eingabe:
29.12.2017
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