Prozesstechnologien für die Halbleiter-Nanodraht-basierte Sensorik mit hohem Durchsatz
Title:
WireControl : Teilprojekt CNT-CONTROL : Prozesstechnologien für die Halbleiter-Nanodraht-basierte Sensorik mit hohem Durchsatz : Schlussbericht für das BMBF Forschungsvorhaben
Document type:
Report / Forschungsbericht
Author(s):
Franz Kreupl
Contracting organization:
BMBF
Publisher address:
Technischen lnformationsbibliothek (TIB), Welfengarten 1 B in 30167 Hannover